酸性物质(MA),碱性物质(MB)

Online IC


侦察 

  1. 阳离子:Na +,NH4 +,K +,Mg2 +,Ca2 +。

  2. 阴离子:F-,Cl-,NO2-,Br-,NO3-,SO42-,PO43-

客制化图控界面 

可展现各种不同顺序的趋势,当前量测值,警报设置,量测程序设置,仪器作动流程…等,以依需求进行调整。

符合ITRS(国际半导体技术附属蓝图)的次世代半导体制程技术规划。

高准确度 

与实验室使用相同离子色谱仪,数据资料易比对。

碱性物质(MB)

NH3/HCL/HF


移动式故障分析系统

量测项目 

氟化氢(HF),氯化氢(HCL),氨(NH3)

新技术 

腔衰荡光谱法(CRDS)连续波长光腔衰荡光谱法

无辐射源 

符合新世代绿色环保工厂政策

降低建厂成本+先进检测技术(CRDS)

凝縮性物質(MC)

VOC(Volatile Organic Compounds)


分析原理 

GC-FID+MASS 火焰离子燃烧法优点

C2 - C6 低碳分析儀

C6 - C12 高碳分析儀

偵測成分 

IPA ,Benzene, PGME,PGMEA, Toluene, Xylene, Ethyl benzene, trimethylbenzene…etc

进行定性与定量双重分析

无需投资化学实验室与专业人才,方便使用

唯一获得美国环保认证

快速量测时间

(ME)

TS/SO2/H2S/DMS/H2SO4


侦察 

总硫分析,二氧化硫,硫化氢,硫化甲基,硫酸

量测多种硫化物

铜制程的危害及主要监控项目

客制化移动式分析系统或多点采样系统

探测极限低,为标准洁净室量测项目

多点在线监测系统


实时监测,信息不流失

节省因人工现场采样的成本

避免人工/时间/环境变化所造成的测值误差

8/16/24/32监测点弹性布局

依环境需要可顺序/设定/重复作指派监测

专利的采样系统与客制化软件设计,建构前后台智能化监控系统

Particle便携式颗粒计数器


激光源 

长寿命激光二极管> 20年

便携式,轻巧,快速采样

表面微粒子计数器 

  1. 专为机台PM及物件表面洁净检测设计
  2. 数据可上传整合厂务监控系统

超纯水微粒子计数器 

  1. 50,100,150,200nm,共四个粒徑
  2. 内建电子式流量计

轮动式微粒子监控系统