微污染气体监测方案AMC
(Airborne Molecular Contamination)
依据ITRS及SEMI建议，AMC量测控制主要分为:
酸性物质(MA)
碱性物质(MB)
凝缩性物质(MC)
掺杂物质(MD)及(ME)
酸性物质（MA），碱性物质（MB）
Online IC
侦察
客制化图控界面
可展现各种不同顺序的趋势，当前量测值，警报设置，量测程序设置，仪器作动流程…等，以依需求进行调整。
符合ITRS（国际半导体技术附属蓝图）的次世代半导体制程技术规划。
高准确度
与实验室使用相同离子色谱仪，数据资料易比对。
碱性物质（MB）
NH3/HCL/HF
移动式故障分析系统
量测项目
氟化氢(HF)，氯化氢(HCL)，氨(NH3)
新技术
腔衰荡光谱法（CRDS）连续波长光腔衰荡光谱法
无辐射源
符合新世代绿色环保工厂政策
降低建厂成本+先进检测技术（CRDS）
凝縮性物質(MC)
VOC（Volatile Organic Compounds）
分析原理
GC-FID+MASS 火焰离子燃烧法优点
C2 - C6 低碳分析儀
C6 - C12 高碳分析儀
偵測成分
IPA ,Benzene, PGME,PGMEA, Toluene, Xylene, Ethyl benzene, trimethylbenzene…etc
进行定性与定量双重分析
无需投资化学实验室与专业人才，方便使用
唯一获得美国环保认证
快速量测时间
(ME)
TS/SO2/H2S/DMS/H2SO4
侦察
总硫分析，二氧化硫，硫化氢，硫化甲基，硫酸
量测多种硫化物
铜制程的危害及主要监控项目
客制化移动式分析系统或多点采样系统
探测极限低，为标准洁净室量测项目
多点在线监测系统
实时监测，信息不流失
节省因人工现场采样的成本
避免人工/时间/环境变化所造成的测值误差
8/16/24/32监测点弹性布局
依环境需要可顺序/设定/重复作指派监测
专利的采样系统与客制化软件设计，建构前后台智能化监控系统
Particle便携式颗粒计数器
激光源
长寿命激光二极管> 20年
便携式，轻巧，快速采样
表面微粒子计数器
- 专为机台PM及物件表面洁净检测设计
- 数据可上传整合厂务监控系统
超纯水微粒子计数器
- 50,100,150,200nm，共四个粒徑
- 内建电子式流量计